瀚盟科技所代理的三大品牌：

美國Bruker、英國Markes及紐西蘭Syft，為半導體產業提供多項未知物鑑定與環境檢測的解決方案，例如：

Bruker的高解析質譜儀(Q-TOF)，被廣泛的使用於鑑定超純水、排放水或洗滌水中的未知物質。

Markes所生產的熱脫附裝置，則可用於無塵室或廠內AMC的偵測，可將空氣中微量的污染氣體濃縮，進而提高儀器偵測的感度。

Syft的最新型移動式SIFT-MS，專為AMC偵測所設計，更可一次得到正負離子的資訊，快速瞭解無塵室內的空氣品質，本次展覽亦有實機展示，歡迎蒞臨現場參觀指教。

瀚盟科技攤位 I2011

日期：2022/09/14(三) – 09/16 (五)

時間：10:00 AM~5:00 PM

• 多元性化合物分析：可同時分析正負離子，監測多樣性來源的AMCs ( Cleanroom monitoring; Optical hazing; Photolithography monitoring; Chemical filters; Coolant leaks; FOUP analysis ; ArF scanner monitoring ; Copper corrosion ..etc. )

• 移動式監測：移動後只需數分鐘即可開始偵測各種酸鹼化合物（例如醛、胺、有機硫與氫氟酸…等）

• 快速質譜儀偵測器：具有高的靈敏度和選擇性，每次分析只需數分鐘

• 簡易操作：觸控面板設計，只要”One touch”

• 遠端遙控：配備WLAN系統，可遠端遙控儀器的使用與數據處理

UNITY-xr / ULTRA-xr / Air-Server-xr / Kori-xr

• 串聯自動進樣系統/熱脫附/除水裝置,適用於工廠或無塵室內，檢測AMC痕量及高濃度樣品

• 利用熱脫附裝置吸附管的樣品自動收集再分析、可實現潮濕空氣中VVOC與VOC的線上監測，並且濃縮AMC感度可提升達到10³~10⁴

• 支援Multi-Gas，可用氫氣、氦氣及氮氣做為載氣

• 可實現多種不同VOC採樣方式的分析，符合國內外多個標準方法，適合廠內或廠外周邊的空氣品質監控

timsTOF

• 高解析串聯質譜儀(Q-TOF)，被廣泛的使用於鑑定廠內超純水、排放水或洗滌水中的未知物質

• 全新第4代TIMS XR，提升進樣量及通量，並具有14 bits數位轉換器，使其具有超高動態範圍的偵測能力

• 調整的阱式離子遷移 (Trapped Ion Mobility)功能，可分離質量相同的同分異構，增加未知物鑑識的準確度

• 專利的PASEF設計，讓duty cycle達到近100% 提高鑑定數量，降低偵測極限

• 可用CCS值作為分離的另一個參數，增加未知鑑識能力

Volatile contaminants in semi-conductor plants: Cleanroom air and beyond

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